儀器包括高精度光柵裝置、密珠導軌的測量桿裝置、高性能的高速采樣等。

高度計采用高精度光柵作為測量基準，選用玻璃基體的增量式光柵尺，所以測量支持大測量范圍，對震動和沖擊不敏感，并具有確定的溫度特性。

增量光柵尺的掃描方法為光電掃描，因此無機械接觸也無磨損。電子設備對輸出信號進行細分至納米級的極小測量步距，從而確保一個信號周期內微小位置誤差。

索尼高度計是放置于平臺上進行單軸測量的儀器，理想的情況是花崗石平臺。三豐測高儀是一種平臺與測高儀結合在一起的全功能測量系統，功能全面的測高儀主要用于在線或批量檢測，一臺或一群機床上直接進行測量，特別是對于一些尺寸要求嚴格的工件在生產過程中的調試和抽樣檢測非常有用。